SIMCO ION 擴(kuò)展ISO Class 1，內(nèi)嵌N 2離子發(fā)生器型號(hào)，兼容10 nm Model 4214
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產(chǎn)品名稱: SIMCO ION 擴(kuò)展ISO Class 1，內(nèi)嵌N 2離子發(fā)生器型號(hào)，兼容10 nm Model 4214
產(chǎn)品型號(hào): 4214
產(chǎn)品展商: SIMCO ION
產(chǎn)品文檔: 無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
SIMCO ION 擴(kuò)展ISO Class 1，內(nèi)嵌N 2離子發(fā)生器型號(hào)，兼容10 nm Model 4214
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SIMCO ION 擴(kuò)展ISO Class 1，內(nèi)嵌N 2離子發(fā)生器型號(hào)，兼容10 nm Model 4214
的詳細(xì)介紹
SIMCO ION 擴(kuò)展ISO Class 1，內(nèi)嵌N 2離子發(fā)生器型號(hào)，兼容10 nm Model 4214
即使在高純度N 2環(huán)境下，4214型靜電消除儀也支持“擴(kuò)展ISO等級(jí)1,10nm”的高清潔度，并實(shí)現(xiàn)出色的離子平衡。
特點(diǎn)
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采用超低顆粒單晶硅電極。
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采用獨(dú)特的清潔機(jī)制，不會(huì)將顆粒釋放到外部，確保穩(wěn)定的長(zhǎng)期清潔
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采用不需要任何調(diào)整的智能控制電路
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內(nèi)置傳感器不斷監(jiān)測(cè)離子產(chǎn)生，以實(shí)現(xiàn)可靠的靜電消除
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集成緊湊型設(shè)計(jì)，內(nèi)置控制器和電源
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自動(dòng)高壓關(guān)閉功能可在低流速下保護(hù)產(chǎn)品
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超低顆粒應(yīng)用的理想選擇，如先進(jìn)的半導(dǎo)體制造工藝
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24 V DC驅(qū)動(dòng)器
規(guī)范
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輸入電壓
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24 V DC +/- 5％6 W（典型值）。
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離子平衡
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<+/- 25 V 150 mm距離40 LPM無(wú)管道連接
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靜電消除時(shí)間
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<10秒150毫米距離40 LPM無(wú)配管連接
+/- 1 kv→+/- 100 v取決于充電板顯示器
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離子生成方法
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電暈放電型高頻交流系統(tǒng)
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清潔程度
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ISO等級(jí)1,0.1微米“擴(kuò)展ISO等級(jí)10nm”*
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電極
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單晶硅可交換
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相應(yīng)的吹掃氣體
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N 2> 99.998％
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流量
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40 LPM（36.5 Kpa）至90 LPM（171 kPa）
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*大吹掃壓力
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207 Kpa（= 100 LPM流量）
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*高氣體溫度
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60攝氏度
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N 2吹掃連接
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世偉洛克3/8“外徑管道
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電離N 2連接
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世偉洛克1/2“外徑管道連接，帶1 / 4NPT內(nèi)螺紋連接器或可選接頭28-25710-SC
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工作溫度范圍
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15至60攝氏度
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信號(hào)輸出
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打開/關(guān)閉觸點(diǎn)時(shí)的報(bào)警和離子減少輸出
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維
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長(zhǎng)度152.4毫米x寬度72.4毫米x深度32毫米不包含
管道部分
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重量
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640克
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外觀
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不銹鋼
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安裝方法
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背面M5螺絲螺絲長(zhǎng)度小于10毫米
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關(guān)于擴(kuò)展ISO等級(jí)1,10納米
？ION Systems專門定義了清潔度的定義，以便應(yīng)對(duì)精細(xì)的顆粒管理。ISO 14644-1定義為*小粒徑為100 nm。擴(kuò)展ISO Class1,10nm并且使用顆粒的計(jì)算公式和ISO14644-1及其允許顆粒的數(shù)目的同一允許數(shù)將是1200pc /立方米（34 PC /立方英尺 ） 至少一個(gè)粒徑10nm的
