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產(chǎn)品名稱: 西南供應(yīng)日本CKD喜開理空氣軸承
產(chǎn)品型號(hào): LBC
產(chǎn)品展商: 日本CKD喜開理
產(chǎn)品文檔: 無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
采用非接觸空氣軸承機(jī)構(gòu)的滑動(dòng)零阻力的空氣靜壓式柔性執(zhí)行部。通過與電空減壓閥（EV)的組合，實(shí)現(xiàn)細(xì)致精密的負(fù)荷控制。
行業(yè)：半導(dǎo)體制造工序（后工序） 安裝
西南供應(yīng)日本CKD喜開理空氣軸承
的詳細(xì)介紹
產(chǎn)品介紹：
采用非接觸空氣軸承機(jī)構(gòu)的滑動(dòng)零阻力的空氣靜壓式柔性執(zhí)行部。通過與電空減壓閥（EV)的組合，實(shí)現(xiàn)細(xì)致精密的負(fù)荷控制。
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行業(yè)
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半導(dǎo)體制造工序（后工序）
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安裝
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【滑動(dòng)零阻力】
采用完全非接觸設(shè)計(jì)，滑動(dòng)零阻力，因此可實(shí)現(xiàn)高響應(yīng)、與供給壓力成線性比例的推力控制。
【潔凈】
動(dòng)作時(shí)完全非接觸，因此無(wú)發(fā)塵。
