成都西野供應(yīng)：ULVAC愛(ài)發(fā)科機(jī)械增壓泵

點(diǎn)擊看大圖

如果您對(duì)該產(chǎn)品感興趣的話,可以

產(chǎn)品名稱: 成都西野供應(yīng)：ULVAC愛(ài)發(fā)科機(jī)械增壓泵

產(chǎn)品型號(hào): PRC-003A

產(chǎn)品展商: ULVAC愛(ài)發(fā)科

產(chǎn)品文檔: 無(wú)相關(guān)文檔

簡(jiǎn)單介紹

ULVAC PRC 系列是機(jī)械增壓泵，主要設(shè)計(jì)用于要求特別清潔的半導(dǎo)體和液晶制造工藝。采用封閉式電機(jī)，不會(huì)發(fā)生軸封部分的漏油現(xiàn)象。也可選擇常壓驅(qū)動(dòng)型。

成都西野供應(yīng)：ULVAC愛(ài)發(fā)科機(jī)械增壓泵 的詳細(xì)介紹

機(jī)械增壓泵

ULVAC

PRC 系列是機(jī)械增壓泵，主要設(shè)計(jì)用于要求特別清潔的半導(dǎo)體和液晶制造工藝。
采用封閉式電機(jī)，不會(huì)發(fā)生軸封部分的漏油現(xiàn)象。也可選擇常壓驅(qū)動(dòng)型。

特征

由于無(wú)油
外殼中沒(méi)有潤(rùn)滑油，因此對(duì)于蒸汽和溶劑等蒸汽可以獲得穩(wěn)定的性能。
采用
封閉式電機(jī)通過(guò)采用封閉式電機(jī)，我們能夠消除大氣/真空的機(jī)械密封。您可以在干凈的環(huán)境中使用，不用擔(dān)心漏油。
表面處理，耐腐蝕性能好
主要部件采用氧化鋁處理，表面硬度高，耐腐蝕性能好，防止泵內(nèi)劃傷和腐蝕。沒(méi)有表面處理可供選擇。
可有效縮短排氣時(shí)間的大氣壓驅(qū)動(dòng)型（選件：變頻器）
由于可與低真空泵同時(shí)啟動(dòng)，因此與標(biāo)準(zhǔn)型相比，可縮短排氣時(shí)間。
除了特殊應(yīng)用的可選
標(biāo)準(zhǔn)外，我們還有特殊應(yīng)用的模型。

使用示例	類型	適用機(jī)型	表面處理	油
通過(guò)對(duì)空氣和惰性氣體排放進(jìn)行表面處理，提高了抗異物的強(qiáng)度	標(biāo)準(zhǔn)	PRC-003A、PRC-006A、 PRC-012A、PRC-018A	〇^{* 1}	R-42 礦物油
當(dāng)您想要抑制由于吸附空氣或惰性氣體排出水分而導(dǎo)致的極限壓力的影響時(shí)	X	PRC-003A-X、PRC-006A-X、 PRC-012A-X、PRC-018A-X	?	R-42 礦物油
防止因腐蝕性氣體、可燃性氣體和氧化性氣體引起的油品變質(zhì) 表面處理提高了對(duì)異物的抵抗力	F	PRC-003A-F、PRC-006A-F、 PRC-012A-F、PRC-018A-F	〇	J25F ^*2 氟油

*1 經(jīng)表面處理，廢氣可能會(huì)因吸濕而受到廢氣的影響。
* 2 使用氟油進(jìn)行裝配檢查，但不包括在內(nèi)。如有需要，將另行安排。

利用

沉積、濺射、離子鍍
真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣
分析設(shè)備、泄漏測(cè)試設(shè)備
氣體置換、充填、真空絕熱
熱處理爐、熔煉爐
其他各種真空設(shè)備

規(guī)格

型號(hào) * 1			PRC-003A	PRC-006A	PRC-012A	中國(guó)-018A
*大排氣速度		50赫茲	280 米³ / 小時(shí) （4670 升 / 分鐘）	500 米³ / 小時(shí) （8330 升 / 分鐘）	1000 米³ / 小時(shí) （16700 升 / 分鐘）	1500 米³ / 小時(shí) （25000 升 / 分鐘）
		60赫茲	330 米³ / 小時(shí) （5500 升 / 分鐘）	600 米³ / 小時(shí) （10000 升 / 分鐘）	1200米³ /小時(shí) （20000升/分鐘）	1800 米³ / 小時(shí) （30000 升 / 分鐘）
*大吸入壓力		50赫茲	1.2×10 ³帕	1.3×10 ³帕		1.2×10 ³帕
		60赫茲	9.3×10 ²帕	1.1×10 ³帕		9.3×10 ²帕
*大允許壓差		50赫茲	4.0×10 ³帕	7.3×10 ³帕		4.3×10 ³帕
		60赫茲	3.3×10 ³帕	6.0×10 ³帕		3.2×10 ³帕
極限壓力*2			4.0×10 ^-1帕		6.7×10 ^-1帕
驅(qū)動(dòng)壓力			~ 1.0 x 10 ⁵ Pa (大氣壓驅(qū)動(dòng)型)
電機(jī) * 3	格式		罐式三相感應(yīng)電動(dòng)機(jī)
	高效率等級(jí)		-
	輸出		0.75 kW（2極數(shù)）	2.2 kW（2極數(shù)）	3.7 kW（2極數(shù)）	5.5 kW（2極數(shù)）
	電壓（200V級(jí)電機(jī)）	50赫茲	200 伏
		60赫茲	200/220 伏
使用油 * 4			ULVOIL R-42
所需油量			0.7 升	1.5升	1.9 升
冷卻方式			水冷
冷卻水	初級(jí)壓力		0.3 兆帕
	門(mén)口壓差		0.01 Mpa以上
	冷卻水量		2升/分鐘		32升/分鐘
	冷卻水溫*5		5-30℃
進(jìn)氣口直徑 JIS-B-2290			相當(dāng)于VG80		相當(dāng)于VG100	相當(dāng)于VG150
排氣直徑JIS-B-2290			相當(dāng)于VF80			相當(dāng)于 VF100
外形尺寸W×D×H*6			296 x 575 x 260 毫米	356 x 619 x 320 毫米	406 x 759 x 340 毫米	406 x 989 x 340 毫米
大量的			51 公斤	86 公斤	118 公斤	150 公斤
標(biāo)準(zhǔn)輔助泵			VD60C	VD90C	VS2401	VS2401
標(biāo)準(zhǔn)配件			1份使用說(shuō)明書(shū)，1單位機(jī)油

注）本規(guī)格表使用SI單位制。非 SI 單位制的換算如下。
4.0 x 10 ^-1 帕 = 3.0 x 10 ^-3托

* 1 標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品有表面處理（陽(yáng)極氧化膜）。您可以選擇不進(jìn)行表面處理。
* 2 用皮拉尼真空計(jì)測(cè)量（輔助泵，使用的油是標(biāo)準(zhǔn)的）。
* 3 不提供防爆和防爆。
* 4 可選擇合成油（R-7000）和氟油（J25F）作為選項(xiàng)。
* 5 請(qǐng)?jiān)跊](méi)有結(jié)露的環(huán)境中使用。
* 6 關(guān)于其他尺寸，請(qǐng)參考我們網(wǎng)站上發(fā)布的 CAD 數(shù)據(jù)。