ULVAC愛(ài)發(fā)科熱陰極電離真空計(jì)

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產(chǎn)品名稱: ULVAC愛(ài)發(fā)科熱陰極電離真空計(jì)

產(chǎn)品型號(hào): ST200-A/R/E

產(chǎn)品展商: ULVAC愛(ài)發(fā)科

產(chǎn)品文檔: 無(wú)相關(guān)文檔

簡(jiǎn)單介紹

成都西野供應(yīng)：ULVAC愛(ài)發(fā)科熱陰極電離真空計(jì)ST200-A/R/E

ULVAC愛(ài)發(fā)科熱陰極電離真空計(jì) 的詳細(xì)介紹

熱陰極電離真空計(jì)

傳感器類型

ST200系列

ST200-A/R/E

ULVAC

可以連接不同量程的測(cè)量頭的新型換能器系列“G-TRAN系列多離子規(guī)”。本產(chǎn)品是三極管型電離真空計(jì)，即使在真空計(jì)的惡劣環(huán)境下，也不會(huì)輕易降低靈敏度，并且可以長(zhǎng)時(shí)間準(zhǔn)確地進(jìn)行真空測(cè)量。在繼承長(zhǎng)壽命、低運(yùn)行成本的傳統(tǒng)理念的同時(shí)，我們進(jìn)行了更加人性化的改進(jìn)。

特征

可用性改進(jìn)：通過(guò)連接到 PC/智能手機(jī)，可以進(jìn)行設(shè)定點(diǎn)設(shè)置、狀態(tài)檢查等
燈絲壽命通知功能：通過(guò)監(jiān)控?zé)艚z的電量，可以提前通知燈絲壽命。
可連接不同量程的測(cè)針：采用多離子規(guī)，可根據(jù)應(yīng)用選擇測(cè)針。
緊湊：與傳統(tǒng)產(chǎn)品相比，實(shí)現(xiàn)了顯著的小型化（控制器體積減少了 56%），世界上*小的級(jí)別
產(chǎn)品陣容擴(kuò)充：除了模擬輸出規(guī)格（ST200-A）和串行通信規(guī)格（ST200-R）之外，還將增加EtherCAT規(guī)格（ST200-E）。
世界首款三極管金屬電離氣壓計(jì)（正在申請(qǐng)磚利）：真空計(jì)即使在惡劣環(huán)境下也能實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)壽命
寬范圍壓力測(cè)量：可測(cè)量從大氣壓到高真空區(qū)域（1 x 10 ⁺⁵至 1 x 10 ^-5 Pa）（連接可選單元 SWU10-R 時(shí)）
精確的大氣壓測(cè)量：可確認(rèn)大氣壓打開(kāi)腔室（連接可選單元 SAU 時(shí)）

采用

有機(jī)EL、觸控面板等制造設(shè)備的極限壓力檢查和過(guò)程控制
用于檢查真空爐等各種工業(yè)真空設(shè)備的極限壓力
用于在含有大量碳?xì)浠衔铮ㄓ突┑沫h(huán)境中測(cè)量
真空零件加工時(shí)，在切削油、清洗液殘留的環(huán)境中進(jìn)行測(cè)量
用于希望減少真空計(jì)測(cè)針更換頻率的真空設(shè)備

* 如果您在腐蝕性氣體（鹵素氣體）環(huán)境中使用，請(qǐng)與我們聯(lián)系。

規(guī)格

模型		ST200-A	ST200-R	ST200-E（預(yù)定發(fā)售）
規(guī)格		標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格	串行通信規(guī)格	EtherCAT 規(guī)格
自適應(yīng)多離子規(guī)傳感器		SWT-16 (NW16), SWT-25 (NW25)
可連接傳感器		多離子規(guī)傳感器：1 個(gè) 皮拉尼規(guī) SWU10-R：1 個(gè)（選項(xiàng)）大氣壓傳感器 SAU：1 個(gè)（選項(xiàng)）
重復(fù)精度 (N ₂ )		ST200單機(jī)模式：±2%
采樣時(shí)間		60ms 5 個(gè)移動(dòng)平均線
測(cè)量值輸出		輸出電壓 DC 0-10V LOG 輸出 0.75V / 1位壓力轉(zhuǎn)換公式 V = 7.25 + 0.75 × (LogP-2) P = 10 ^ {(V-7.25) /0.75+2}
更新時(shí)間		60毫秒
控制輸入信號(hào)		FIL ON / OFF, FIL 1/2, DEGAS ON / OFF 集電極開(kāi)路輸入，負(fù)邏輯	――――	――――
控制輸出信號(hào)		傳感器錯(cuò)誤，設(shè)定點(diǎn) 1/2/3，發(fā)射電壓，燈絲功率監(jiān)測(cè) 額定值：24V _MAX，50mA _MAX，飽和電壓 1V	――――	――――
串行通信規(guī)格		――――	RS232C / RS-485	EtherCAT
LED顯示屏		POWER / ERROR：電源、錯(cuò)誤 LED（閃爍狀態(tài)根據(jù)每種模式而變化）
發(fā)射電流		2mA（1×10 ^-2 Pa以下）、10μA（1×10 ^-2 Pa以上）
脫氣		電子轟擊法，發(fā)射電流2mA，柵極電壓約330V
傳感器耐壓		2 x 10 ⁺⁵ Pa（優(yōu)良?jí)毫Γ?* 法蘭和卡箍等承受壓力需要單獨(dú)考慮。
傳感器內(nèi)部容積		17cm ³ (SWT-16), 19cm ³ (SWT-25)
工作溫度限制		10-50℃
工作濕度范圍		15-80%（但無(wú)冷凝）
貯存溫度		-20～65℃（不通電時(shí)不結(jié)露）
知識(shí)產(chǎn)權(quán)保護(hù)等級(jí)		IP30
電源電壓		DC20-28V（紋波、噪聲1%以下） 8W以下
輸入/輸出連接器		D-sub 15針（M2.6螺絲）
大量的		控制器：約 280g 觸控筆（SWT-16、SWT-25）：80g
外形尺寸 W × D × H		69mm x 63mm x 90mm（控制器部分）
符合標(biāo)準(zhǔn)		行政長(zhǎng)官
可選的	多離子規(guī)傳感器	SWT-16 (NW16)、SWT-25 (NW25) 材質(zhì)：燈絲：Ir / Y ₂ O ₃涂層其他：PtC-Mo、SUS304、W、可伐玻璃、可伐合金/鍍鎳
	皮拉尼規(guī)	SWU10-R * 與傳統(tǒng) SPU 兼容
	皮拉尼規(guī)傳感器	SWP-16(NW16)、SWP-25(NW25)、SWP-R1/8(R1/8)、SWP-P18(Φ18管端)、SWP-P15(Φ15管端)、SWP-CF16(ICF034) 材質(zhì): Filament-Pt, Other-BS / Ni, Plating, Ni, Solder
	氣壓傳感器	SAU (NW16) 材質(zhì)：SUS316L
	單元電纜	GUC-200P（SWU用）：0.5m、1m、2m GUC-200A（SAU用）：0.5m、1m、2m
	顯示單元	1CH：ISG1（使用24V直流電源）
	顯示單元電纜	SH200 和顯示單元之間的電纜 2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30m, 35m, 40m
	連接器	輸入/輸出連接器（D-sub15-soket（M2.6mm螺絲））
	其他	檢驗(yàn)報(bào)告、一般校準(zhǔn)測(cè)試報(bào)告、JCSS校準(zhǔn)證書(shū)

各模式規(guī)格

ST200-A / ST200-R / ST200-E可從三種使用方式中進(jìn)行選擇：多油表單模式、與吡拉尼計(jì)的組合模式、與吡拉尼計(jì)和氣壓傳感器的三組組合模式。

模式	ST200-A / ST200-R / ST200-E 單模	ST200 -A/ST200-R/ST200-E +SWU10-R 組合模式	ST200 -A/ST200-R/ST200-E +SWU10-R+SAU 組合模式
測(cè)量壓力范圍	1.0 × 10 ^-5至 1.0 × 10 ⁺¹ Pa	1.0 × 10 ^-5 ~ 1.0 × 10 ⁺⁵ Pa	1.0 × 10 ^-5 ~ 1.0 × 10 ⁺⁵ Pa
測(cè)量精度	1.0×10 ^-4至 3.0×10 ⁺⁰ Pa： ±10%	1.0 × 10 ^-4至 1.0 × 10 ⁺⁴ Pa：± 10% 1.0 × 10 ⁺⁴至 1.0 × 10 ⁺⁵ Pa：± 20%	1.0 × 10 ^-4至 1.0 × 10 ⁺⁴ Pa：± 10% 1.0 × 10 ⁺⁴至 3.0 × 10 ⁺⁵ Pa：± 3% FS (3.0 × 10 ⁺³ Pa ?參考溫度25℃)
連接圖
測(cè)量壓力范圍圖像	三重組合用于需要確認(rèn)“大氣壓力”的情況，例如當(dāng)腔室打開(kāi)時(shí)。