產(chǎn)品資料

成都西野供應：ULVAC愛發(fā)科光譜橢偏儀

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產(chǎn)品名稱: 成都西野供應：ULVAC愛發(fā)科光譜橢偏儀
產(chǎn)品型號: UNECS-1500M
產(chǎn)品展商: ULVAC愛發(fā)科
產(chǎn)品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

成都西野供應：ULVAC愛發(fā)科光譜橢偏儀UNECS-1500M


成都西野供應：ULVAC愛發(fā)科光譜橢偏儀  的詳細介紹

手動型

UNECS系列

UNECS-1500M

ULVAC

Φ150mm手動載物臺

UNECS系列是一種光譜橢偏儀，可以高速、高精度地測量薄膜的膜厚和折射率。
采用獨特的測量方法，實現(xiàn)高速測量和緊湊性。
根據(jù)用途，我們有廣泛的產(chǎn)品陣容，從獨特的便攜型到自動平臺型和支持真空環(huán)境的內(nèi)置型設備。
UNECS-1500M配備了兼容Φ150mm的手動R-θ平臺，具有良好的可操作性，便于測量和定位。

特征

  • 高速測量：
    采用獨特的快照方式，實現(xiàn)了高達20ms的高速測量。
  • 可見光譜兼容：
    波長范圍可選擇標準型（530nm至750nm）和可見光譜型（380nm至760nm）。
  • 緊湊型傳感器單元：
    發(fā)光傳感器非常輕巧緊湊，因為它僅由沒有旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的光學元件組成，并且不需要定期維護。
  • 豐富的產(chǎn)品陣容：
    擁有獨特的便攜型、手動/自動平臺型、大型板型以及支持大氣/真空環(huán)境的內(nèi)置型設備等各種應用的產(chǎn)品陣容。

采用

  • 透明或半透明薄膜（氧化膜、氮化膜、抗蝕劑、ITO等）的膜厚、折射率、消光系數(shù)的測量

規(guī)格

波長范圍 530-750nm、380-760nm（二選一）
光斑直徑 Φ1mm、Φ0.3mm（任選其一）
入射角 固定在 70°
膜厚再現(xiàn)性 1σ = 0.1nm
膜厚范圍 1nm~2μm
測量時間 光接收：20ms-3000ms 計算：300ms
階段 Φ150mm手動R-θ載物臺
控制電腦 筆記本型（帶操作/分析軟件）
設備配置 測量體（手動載物臺、帶控制箱）
光源單元、操作電腦（筆記本型）、使用說明書（CD）

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