產(chǎn)品資料

成都西野：ULVAC愛發(fā)科小容量直流電源

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產(chǎn)品名稱: 成都西野：ULVAC愛發(fā)科小容量直流電源
產(chǎn)品型號(hào): DC-2
產(chǎn)品展商: ULVAC愛發(fā)科
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡(jiǎn)單介紹

DC -2 和 DC-4 是用于濺射的直流電源，輸出功率為 2kW 和 4kW。 高控制精度提供出色的可重復(fù)性并實(shí)現(xiàn)更高質(zhì)量的過程。


成都西野：ULVAC愛發(fā)科小容量直流電源  的詳細(xì)介紹

小容量直流電源

DC-2

ULVAC

DC -2 和 DC-4 是用于濺射的直流電源，輸出功率為 2kW 和 4kW。
高控制精度提供出色的可重復(fù)性并實(shí)現(xiàn)更高質(zhì)量的過程。

特征

  • 高控制精度
    即使在 10% 或更低的低功率范圍內(nèi)，也可實(shí)現(xiàn)設(shè)定值 ±1% 的高精度輸出
  • 寬精度保證
    1-100% 寬功率精度保證
  • 輕巧省空間
    輕巧省空間的設(shè)計(jì)，具有出色的可安裝性。
  • 無需冷卻水
    由于采用強(qiáng)制風(fēng)冷方式，無需冷卻水。

  • 反饋設(shè)計(jì)作為高度可靠的設(shè)備制造商積累的專有技術(shù)

采用

  • 研發(fā)用濺射設(shè)備
  • 各種成膜設(shè)備的偏置電源

規(guī)格

模型 DC-2 DC-4
輸入規(guī)格 輸入電壓 AC208V / 220V
波動(dòng)范圍 AC180-242V
相數(shù)、頻率 三相 50 / 60Hz
輸入容量 3.5kVA 6.2kVA
輸出規(guī)格 *大額定功率 2千瓦 4千瓦
額定電流 5A 10A
額定電壓 800V
輸出極性 負(fù)極性
異常放電控制 諧振截止或逆變器截止
控制 控制方法 恒功率控制（P控制）/恒流控制（I控制）/恒壓控制（V控制）
控制精度 設(shè)定值的±1% 
（在我們指定的電阻值下）
控制保證范圍 1-100%額定功率值
并聯(lián)運(yùn)行 沒有
外部控制 模擬/數(shù)字，RS-232C 或 RS-485
冷卻方式 強(qiáng)制風(fēng)冷
外形尺寸（寬 x 深 x 高） 241 毫米 x 610 毫米 x 133 毫米（不包括突出部分）
大量的 15公斤
符合標(biāo)準(zhǔn) CE / SEMI F47 / RoHS指令

工作環(huán)境溫度 5°C-40°C（無冷凝）
工作環(huán)境 避免陽光直射、高溫、灰塵、振動(dòng)，不含腐蝕性氣體。


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