產(chǎn)品資料

成都西野供應(yīng):ULVAC愛發(fā)科金屬膜用EB槍

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產(chǎn)品名稱: 成都西野供應(yīng):ULVAC愛發(fā)科金屬膜用EB槍
產(chǎn)品型號: EGL-103S
產(chǎn)品展商: ULVAC愛發(fā)科
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡單介紹

成都西野供應(yīng):日本ULVAC愛發(fā)科金屬膜用EB槍


成都西野供應(yīng):ULVAC愛發(fā)科金屬膜用EB槍  的詳細(xì)介紹

金屬膜用EB槍

EGL系列

EGL-103S

ULVAC

EGL-103S 電子束蒸發(fā)器是基于 ULVAC 多年積累和成熟的技術(shù)在性能和可靠性方面的改進。
該蒸發(fā)源具有一個*大輸入功率為 6 kW 的直動式 3 點開關(guān)爐床。
坩堝容量為10cc x 3,適用于超高真空實驗和小規(guī)模生產(chǎn)。

特征

  • 采用容量為10cc的直動式三點開關(guān)式爐缸,適用于超高真空小規(guī)模生產(chǎn)。
  • 由于電子束被電磁場偏轉(zhuǎn),即使對于二次電子對非沉積材料影響很小的升華材料,也可以在X軸和Y軸方向掃描束斑,消除了部分挖孔現(xiàn)象。,整個鍋可以順利蒸發(fā)。(擁有日本磚利第 831485.843447 號)
  • 電子束偏轉(zhuǎn)270°,因此不會從蒸發(fā)材料中暴露在上面,燈絲壽命長。
  • 由于發(fā)射器組件可以很容易地安裝和拆卸,因此很容易更換燈絲和絕緣體。

規(guī)格

加速電壓 -4kV ~ -10kV
束流 0.6Amax (at-10kV)
*大輸入 6kW(-10kV,0.6A)
X軸偏轉(zhuǎn)線圈 0.4~3.5A -18VDCmax 
2.8Ω (20℃)
Y軸偏轉(zhuǎn)線圈 0 to ± 1.2A ± 12VDC 
max 0.9Ω (20 ℃)
燈絲 0-6VAC 50Amax
容量 10cc
尺寸 35Φ×31Φ×11H
光束偏轉(zhuǎn)角 270°
有效蒸發(fā)角 90°以上
冷卻水量 哈斯 10L/min 7kg/cm 2 G(*大壓力)
壁爐甲板 2L / min 7kg / cm 2 G(*大壓力)
水溫 15℃~25℃
外形尺寸 313W(*大)×108H×250D
重量 約16公斤
適用電源 HPS-1000N、HPS-1600F
評論 建議冷卻水的電阻率為 5 kΩ·cm 或更高。
*大點位 30 × 30mm
烘烤溫度*高為 120 ℃,但保持爐膛和爐膛甲板上的水流動
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