成都西野：ULVAC愛發(fā)科安裝濺射設(shè)備
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產(chǎn)品名稱: 成都西野：ULVAC愛發(fā)科安裝濺射設(shè)備
產(chǎn)品型號(hào): SRH-420MC
產(chǎn)品展商: ULVAC愛發(fā)科
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
成都西野：ULVAC愛發(fā)科安裝濺射設(shè)備SRH-420MC
成都西野：ULVAC愛發(fā)科安裝濺射設(shè)備
的詳細(xì)介紹
濺射裝置負(fù)載鎖定型
背面/安裝濺射設(shè)備SRH系列
背面/貼裝濺射裝置 SRH 系列是以形成功率器件、WL-CSP、UBM 等金屬膜為目的的量產(chǎn)裝置。
特征
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兼容Φ125至Φ200 mm板
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兼容超薄晶圓（兼容自動(dòng)轉(zhuǎn)移*厚50μm）
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*多支持5個(gè)進(jìn)程
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可配備 ISM 方法的濺射蝕刻
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可以通過 ESC 進(jìn)行高效冷卻
采用
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電源裝置
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WL-CSP（用于電鍍種子層）
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UBM（阻隔金屬）
