成都西野：ULVAC愛發(fā)科小型蒸著裝置

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產(chǎn)品名稱: 成都西野：ULVAC愛發(fā)科小型蒸著裝置

產(chǎn)品型號(hào): VTR-060M/ERH

產(chǎn)品展商: ULVAC愛發(fā)科

產(chǎn)品文檔: 無(wú)相關(guān)文檔

簡(jiǎn)單介紹

將架臺(tái)上的分子泵?輔助泵緊湊組合為一體的電阻加熱型低成本小型真空蒸發(fā)設(shè)備。適用于清潔排氣的基礎(chǔ)研究開發(fā)等實(shí)驗(yàn)用途。

成都西野：ULVAC愛發(fā)科小型蒸著裝置 的詳細(xì)介紹

小型蒸發(fā)設(shè)備

DEPOX 系列

ULVAC

將架臺(tái)上的分子泵?輔助泵緊湊組合為一體的電阻加熱型低成本小型真空蒸發(fā)設(shè)備。
適用于清潔排氣的基礎(chǔ)研究開發(fā)等實(shí)驗(yàn)用途。

型式		VTR-060M/ERH
真空性能	極限壓力	10^-４臺(tái)（真空層內(nèi)無(wú)負(fù)荷清潔時(shí)） 1.5×10^-３Pa（選項(xiàng)規(guī)格）
真空性能	排氣時(shí)間	4.0×10^-３Pa/20min（真空槽內(nèi)無(wú)負(fù)荷清潔時(shí)）
真空槽	真空槽	圓柱形玻璃腔室（Φ236mm×Ｈ250mm)
	基板	7端口（底面）
	基板尺寸?*大尺寸	□25mm ? □50mm（Max）
電源系統(tǒng)	蒸發(fā)電極構(gòu)成	1點(diǎn)式
電源系統(tǒng)	蒸發(fā)電源?數(shù)量	SEREM/PSE-150C?1式 0～10V 80A (MAX)
排氣系統(tǒng)	主泵	分子泵(空冷)　60Ｌ/sec
	補(bǔ)助泵	油回轉(zhuǎn)泵 20L/min
	油霧捕集器	OMT-050A
操作系統(tǒng)	主閥	選項(xiàng)（蝶閥）
	補(bǔ)助閥	選項(xiàng)（三通閥）
	自動(dòng)泄露閥	選項(xiàng)（電磁閥）
	真空槽排氣閥	選項(xiàng)（泄露口）
	操作	手動(dòng)
控制系統(tǒng)	真空計(jì)	選項(xiàng)　(ISG1)
控制系統(tǒng)	膜厚計(jì)	選項(xiàng) (CRTM-6000G)
設(shè)置	*大尺寸　　本體	428mm(W)×438mm(D)×713mm(H)
	電源	480mm(W)×435.3mm(D)×149mm(H)
	質(zhì)量　　　　本體	50Kg
	電源	24Kg